- ISO 6342:2003
- изд.2 B TC 171/SC 2Микрографическая техника. Апертурные карты. Метод измерения толщины в зоне наслаивания—————раздел 37.080
Стандарты Международной организации по стандартизации (ИСО). Каталог (в 2-х частях). — М.: ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ». 2008.